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2024-07
清華大學(xué)申請光刻機光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)專利
據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請一項名為“一種光刻機光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開號CN117367746A，申請日期為2023年9月。 專利摘 ...
北京科匯華晟技術(shù)開發(fā)有限公司
專業(yè)的國產(chǎn)光刻機廠家 30年專注光刻機
專業(yè)的國產(chǎn)光刻機廠家 30年專注光刻機
據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請一項名為“一種光刻機光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開號CN117367746A，申請日期為2023年9月。 專利摘 ...